ASML-спин-аут Invisix привлек €20 млн, чтобы увидеть то, что оптика не может увидеть в чипах.

      Современные чипы сталкиваются с проблемой измерения, которая звучит почти философски: они стали слишком сложными для визуального анализа. Поскольку логические и память устройства укладываются в три измерения и уменьшаются до нескольких нанометров, оптические инструменты, которые проверяют каждый слой, больше не могут разрешать структуры, скрытые внутри. Invisix, стартап из Эйндховена, выделившийся из ASML, привлек 20 миллионов евро, чтобы устранить эту слепую зону. Переподписанный раунд начального финансирования привлек Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand, Doosan Investment Co. и, по выражению компании, производителя полупроводников первого уровня. Этот последний анонимный инвестор является значительным сигналом в области, где производители чипов редко инвестируют в инструменты, которые не собираются использовать; ранее сообщалось, что Samsung приобрела долю в компании, пока она работает над выходами для своего 2-нм процесса. Invisix использует эти средства для расширения своей команды, создания своей первой отгружаемой системы и проведения демонстраций для клиентов из новой чистой комнаты в Эйндховене. Проблема, на которую она нацелена, — это проблема выхода, которая в полупроводниках является проблемой денег. Создание чипа — это процесс послойного построения, и если вы не можете подтвердить, что слой напечатан правильно, прежде чем добавлять следующий, вы действуете вслепую. Сегодня это часто означает медленные, дорогостоящие, иногда разрушительные проверки, разрезая готовую пластину, чтобы ее осмотреть. В бизнесе, где небольшое увеличение выхода стоит миллиарды, а гонка выигрывается тем, кто первым достигнет новой технологической ноды, этот разрыв ощущается остро. Ответ Invisix заимствует логику, которая привела к самой литографии: чтобы видеть меньшие вещи, используйте меньшие длины волн. Ее система использует генерацию высоких гармоник, физику, признанную Нобелевской премией по физике 2023 года, присуждённой Пьеру Агостини, Ференцу Краусу и Анне Л’Юилье из Университета Лунда. Лазер с коротким импульсом возбуждает атомы благородных газов, пока они не начнут излучать мягкие рентгеновские лучи на многих длинах волн одновременно, создавая более насыщенный 3D сигнал, чем одноцветный лазер, который компания сочетает с алгоритмами реконструкции и машинным обучением для восстановления внутренней структуры устройства без его разрушения. Что делает эту ставку необычной для компании на стадии начального финансирования в области аппаратного обеспечения, так это то, сколько рисков уже снято. Invisix лицензировала значительный пакет технологий мягкого рентгеновского излучения, разработанный более чем за десятилетие внутри ASML, и ее команда укомплектована ветеранами этой программы наряду с высококвалифицированными специалистами, такими как COO Роальд Догге, ранее работавший в контрактном производителе NTS. Компания утверждает, что продемонстрировала этот подход публично в 2023 году с Intel и imec, измеряя характеристики в транзисторах с полным окружением затвора, которые являются одними из самых сложных целей для существующей метрологии. Более широкий контекст — это континент, пытающийся удержать те части цепочки поставок чипов, которые он возглавляет. Нидерланды являются домом для ASML, и кластер голландских и бельгийских фондов глубоких технологий, включая imec.xpand, теперь поддерживает стартапы, формирующиеся вокруг него. Invisix имеет тестовую платформу, родословную и чистую комнату; предстоящий тест — это беспощадный тест для любой компании, занимающейся инструментами, превращая демонстрацию в систему, которую фабрика будет использовать в больших объемах.